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成都高純三氟化氮的基礎介紹及行業應用
作者:admin 發布日期:2018/4/28 關注次數: 二維碼分享

對于成都高純三氟化氮來說,大多數朋友都不太了解,我們在使用前首先要摸清楚它的基礎知識以及適用范圍等,本文,小編就為大家科普一下!

三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體,是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

成都高純三氟化氮

用途:

三氟化氮主要用途是用作氟化氫-氟化氣高能化學激光器的氟源,在h2-O2 與F2之間反應能的有效部分(約25%)可以以激光輻射釋放出,所 HF-OF激光器是化學激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體,對硅和氮化硅蝕刻,采用三氟化氮比四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性,而且對表面無污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中,三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性,在被蝕刻物表面不留任何殘留物,同時也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術的發展和電子工業大規模的發展技術,它的需求量將日益增加。

危險概述:

三氟化氮是低毒性物質,但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。具有強氧化性。與還原劑能發生強烈反應,引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應,甚至引起燃燒。受高熱發生劇烈分解,甚至發生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時末見死亡,但出現高鐵血紅蛋白血癥,當吸入10000ppm·l小時有死亡,在2500ppm時吸毒后4小時死亡。最高容許濃度:10ppm(29mg/m3)。

消防措施:

強氧化劑。受熱或與火焰、電火化、有機物等接觸能燃燒,甚至爆炸。與易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應,甚至引起燃燒。與還原劑能發生強烈反應,引起燃燒爆炸。

有害燃燒產物: 氟化氫。

滅火方法: 消防員必須穿全身防火防毒服,在上風向滅火。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。

滅火劑:霧狀水、泡沫。

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并隔離直至氣體散盡,應急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿化學防護服。切斷火源。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(或擴散),但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。抽排(室內)或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用,且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。法規信息:化學危險品安全管理條例(1987年2月17日國務院發布),化學危險品安全管理條例實施細則(化勞發[1992]677號),工作場所安全使用化學危險品規定[1996]勞部發423號)法規,針對化學危險品的安全使用、生產、儲存、運輸、裝卸等方面均作了相應規定;常用危險化學品的分類及標志(GB13690-92)將該物質劃為第2.3類有毒氣體。

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